一、需求內容描述
產品技術難點在于實現小相位延遲量下的精密測量,現有的應力測量技術手段包括X 射線衍射法、Stoney 曲率法、顯微拉曼光譜法、數字光彈法、光彈調制器法和偏振光腔衰蕩等方法各種技術手段各有優劣。
本項目需求而言,項目需求優先考慮搭建基于光彈性調制器(PEM)技術,12 提供雙折射幅度和快軸角度的測量,期待靈敏度為0.005納米。其提供集成化操作系統軟件計算并顯示每個釆樣點的延遲幅度和快軸角度。最終的延遲幅度被歸一化為樣品內光束的路徑長度
(nm/cm)。其他更多技術指標參考:
(一)概述
本規格書適用于薄板玻璃光程差、應力測量及玻璃板品質判定工作。
(二)設備名稱及配套要求
1.設備名稱:應力雙折射測量系統。
2.測量系統包含:測量儀本體、控制單元、標準件及穩壓電源報警保護設備和操作人身安全等附屬設施。
3.設備數量:1 套。(含相應的操作培訓和精度校正)
4.委托范圍:制作、安裝、調試及操作維修培訓。
(三)交貨地點及周期
1.地點:合肥。
2.交期:8-12month
(四)設備規格
1.測量對象:薄板玻璃。
2.測量方式:非接觸式。
3.工作方式:高頻率、長時間、非連續性,實現自動測試并自動輸出測試報告。
4.尺寸規格參數:
產品尺寸(抬起安裝板):3200mmx4500mmx3500mm(H)
5.稼動:設備連續24h 不斷電,間歇性運轉。
6.動能:(220+10%)V,(50~60)Hz。
(五)安裝條件
1.安裝場所:廠房二樓地面上。
2.地面設計承載:W800Kg/m2
(六)技術規格要求
1.掃描區域:2450mmx2850mm
2.最大樣品尺寸:2400mmx2800mm
3.測量范圍:0.005to300nm
4.延遲量分辨率/重復性:0.OOlnm/±0.OlnmuptoInm
5.角度精度/重復性:0.01°/±0.05°
6.測量速度:upto100pps/samplesizedependent
點測試,0.1nm;
10.兩個光學頭可獨立拆卸,如有一個損壞,另一個可以獨立工作
11.0.01nm accuracy and 0.05nm repeatability.with the 100mm step 參數下,快為lOmin(雙頭)
12.SIM 選項下,repeatability 參數:0.1nm
二、對揭榜方要求
需揭榜方了解玻璃工藝,有一定的智能裝備的自主研發能力,具體技術指標現場詳談。
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